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Typ
Operations
Ultrathin TiN membranes as a technology platform for CMOS integrated MEMS and BioMEMS devices
2011 .
Birkholz, Mario
2011
http://purl.org/ontology/bibo/Article
Sensing glucose concentrations at GHz frequencies with a fully embedded biomicro-electromechanical system
2013 .
Birkholz, Mario
2013
http://purl.org/ontology/bibo/Article
Konvergenz in Sicht: Zur gemeinsamen Perspektive von Mikroelektronik und Biotechnologie
2009 .
Birkholz, Mario
2009
http://purl.org/ontology/bibo/Article